CIRIUS 系列是 Lasertec 的高靈敏度內部缺陷檢測・複檢設備。於2022年12月發表，支援高堆疊化製程。
以獨家光學系統高靈敏度檢測晶圓內部的缺陷，並以複檢光學系統依深度分類內部缺陷。產出也很高。
用於 3D NAND 等高堆疊元件的內部缺陷檢測，以及晶圓接合後的內部缺陷檢測。
CIRIUS 系列的特點與規格
Lasertec・缺陷檢測設備
檢測・複檢 3D NAND 等高堆疊元件，以及晶圓接合後內部缺陷的設備。
產品概要
主要規格
| 方式 | 以獨家光學系統進行內部缺陷檢測＋複檢光學系統 |
|---|---|
| 功能 | 內部缺陷的深度分類 |
| 對象 | 3D NAND 等高堆疊元件・接合晶圓 |
規格依廠商公開資料整理，實際規格與選配請以廠商資料為準。
主要特點
高靈敏度內部缺陷檢測
依深度分類缺陷
高產出
主要用途
- 3D NAND 的內部缺陷檢測
- 接合晶圓的檢測
製造商與在台據點
在台據點
- Lasertec Taiwan（新竹縣竹北市）：2010 年成立，負責銷售與技術支援