Puma 9980 是科磊的雷射掃描式圖案化晶圓缺陷檢測設備。屬於 Puma 系列，該系列持續改良靈敏度與速度，以邏輯與記憶體量產所需的產出捕捉關鍵缺陷（DOI）。
作為科磊缺陷檢測・複檢綜合產品組合的一部分，在廣泛的圖案化層提升缺陷偵測能力，為量產監控提供高產出的解決方案。
具備運用 NanoPoint 等設計資訊的功能，透過提升缺陷靈敏度、改善系統性擾亂缺陷（Nuisance）的分類，以及提升缺陷座標精度，回傳更具實用性的檢測結果。科磊也推出使用寬頻電漿光源的 39xx／29xx 系列，Puma 與其搭配用於產線監控。