DI4600 是日立高新技術（Hitachi High-Tech）的暗場式晶圓缺陷檢測設備。用於生產線的狀態管理（線上缺陷管理），讓半導體廠商迅速找出造成良率下降的異常。
將以片狀光束高速檢測晶圓全面的技術，以及以空間濾波器高精度區分來自圖形與來自缺陷之散射光的技術，結合獨家的光學系統技術，實現高速且高缺陷檢出性能。
由於兼顧缺陷檢出能力的提升與高產能化，已被最先進的記憶體與邏輯製造採用為線上缺陷管理工具。適合多台運用的獨家光學系統使機台間匹配性能高，並能以簡單的參數設定建立配方。晶圓為 φ300mm 專用。