Zeta-5xx／6xx 系列的特點與規格

Zeta-5xx 系列是科磊用於全自動 300mm 晶圓量測的光學式輪廓儀。量測先進晶圓級封裝製程管理中重要的凸塊高度、重布線層（RDL）的 CD、UBM 的階高、膜厚、晶圓翹曲等。

以多模式光學系統，1 台即可進行多種量測，減少時間與成本。以高解析度 3D 影像與分析，提供為改善良率進行製程回饋所需的資料。

面向以面板為基礎的晶圓級封裝，另有具備面板自動搬運的 Zeta-6xx 系列，可進行與 5xx 相同的量測。