APAMA(Advanced Packaging with Adaptive Machine Analytics)是庫力索法(Kulicke & Soffa)的熱壓接合(TCB)設備。2014年推出晶片對載板(C2S)機型,2015年推出晶片對晶圓(C2W)機型。
其設計目的是在使用 2.5D/3D 或 TSV 的晶片堆疊中,提供最高水準的晶粒堆疊。以直驅式 Z 軸接合頭,從低荷重到高荷重都能精密控制動作,準確地進行貼裝。
廣泛整合檢測・量測功能,在關鍵位置設置檢測站以防止缺陷擴散,加快量產導入。對工件與工具表面的溫度控制優異,並以可完全程式化的高速升降溫提高生產力。支援 NCF(非導電膠膜)、NCP(非導電膠)、熱壓毛細底部填膠(TC-CUF)等製程。