最後更新:2026年10月23日黏晶機

APAMA的特點與規格

庫力索法(Kulicke & Soffa)・黏晶機

庫力索法(Kulicke & Soffa)針對 2.5D/3D・TSV 晶粒堆疊開發的熱壓接合(TCB)設備。2014年推出 C2S 機型,2015年推出 C2W 機型。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

APAMA(Advanced Packaging with Adaptive Machine Analytics)是庫力索法(Kulicke & Soffa)的熱壓接合(TCB)設備。2014年推出晶片對載板(C2S)機型,2015年推出晶片對晶圓(C2W)機型。

其設計目的是在使用 2.5D/3D 或 TSV 的晶片堆疊中,提供最高水準的晶粒堆疊。以直驅式 Z 軸接合頭,從低荷重到高荷重都能精密控制動作,準確地進行貼裝。

廣泛整合檢測・量測功能,在關鍵位置設置檢測站以防止缺陷擴散,加快量產導入。對工件與工具表面的溫度控制優異,並以可完全程式化的高速升降溫提高生產力。支援 NCF(非導電膠膜)、NCP(非導電膠)、熱壓毛細底部填膠(TC-CUF)等製程。

主要規格

方式熱壓接合(C2S/C2W)
特點直驅式 Z 軸接合頭・整合檢測/量測
支援製程NCF・NCP・TC-CUF
主要用途2.5D/3D・TSV 的晶粒堆疊

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

熱壓接合(C2S/C2W)
直驅式 Z 軸接合頭
整合式檢測・量測
可程式化的高速升降溫

主要用途

  • 2.5D/3D・TSV 的晶粒堆疊
  • NCF・NCP・TC-CUF 製程

製造商

庫力索法(Kulicke & Soffa)(總部:美國)

所屬設備分類

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資料來源

  1. 庫力索法(Kulicke & Soffa)官方新聞稿:K&S APAMA