黏晶(Die Bonding,又稱Die Attach)是將以晶圓切割從晶圓切下的個別晶粒(晶片),固定在導線架、基板或晶圓上指定位置的後段構裝製程。使用稱為黏晶機的專用設備,以真空吸嘴(collet)拾取晶粒,定位後搭載於接合材料上。
接合方式相當多樣,包括使用環氧樹脂系黏著劑(晶片黏著膜、膏材)的樹脂黏著、使用金屬的共晶接合(AuSi、AuSn)與焊料接合,以及先進封裝用的混合鍵合(Cu-Cu直接接合)。由於散熱性、導電性與可靠度的要求依用途而異,接合材料的選擇相當重要。
先進封裝用黏晶機要求±1μm以下的對位精度;在覆晶構裝中,則需以熱壓接合(TCB:Thermo-Compression Bonding)進行高精度搭載。隨著3D NAND與HBM的多層堆疊,以及小晶片(Chiplet)構裝的普及,黏晶正同時朝高速化、高精度化與接合材料多樣化發展。
主要設備廠商為ASM Pacific Technology(ASMPT)與Besi(前身為Datacon),在日本則有新川、Canon Machinery等廠商投入。依封裝種類與用途選擇最適當的接合方式與設備,會左右良率與可靠度。