DV-Prime／Da Vinci的特點與規格

DV-Prime 與 Da Vinci 是科林研發的單晶圓濕式清洗設備。微粒去除效率高，可使用最新的稀釋化學品與溶劑，彈性因應缺陷要求。

以整合於設備內的精巧化學品供應，減少微粒增加與良率驟降。以化學品回收系統也能降低化學品成本。

用於微粒・聚合物・殘留物的去除、背面・晶邊的清洗、光阻的去除、矽基板的薄化與應力去除，以及凸塊下金屬層（UBM）的去除等。