SU-2000的特點與規格

SU-2000 是 SCREEN 的單晶圓式清洗設備。針對用於空調、電車、電動車等變頻器的功率半導體，以及 MEMS、BSI 感測器等「綠色元件」的製造而開發。

承襲高階設備 SU-3200 的基本設計與技術訣竅，在因應高度製程性能的同時提高成本效益。從一般矽晶圓到薄晶圓都能彈性處理。

可依生產規模選擇 2 腔體與 4 腔體規格。即使是 4 腔體規格，也只需比傳統 2 腔體設備增加 14% 的尺寸即可替換。採用將化學品供應系統配置於設備背面的一體化設計，壓低占地面積並提高處理的控制性。