最後更新:2026年10月23日SiC 功率半導體製造設備

IMPHEAT-II的特點與規格

日新離子機器(Nissin Ion Equipment)・SiC 功率半導體製造設備

針對 SiC 功率半導體的高溫離子佈植機。比前一代 IMPHEAT 的束流提高約 4 倍,生產能力提高約 3 倍。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

IMPHEAT-II 是日新離子機器(Nissin Ion Equipment)針對 SiC 功率元件的離子佈植機。SiC 與矽不同,若不在高溫下佈植容易殘留晶格損傷,因此會使用一邊加熱晶圓一邊佈植的設備。

佈植溫度涵蓋室溫至 500°C,支援 4/6/8 吋晶圓。為強化高溫傳送可靠度與產能的機型,標榜業界最高的高溫產能。

以有助於生產力的大電流 Al+ 離子束,可進行針對 SiC 功率元件的鋁(Al)佈植。採用以該公司中電流機 EXCEED 系列為基礎的高可靠度設計,並透過保養零件共通化提高運用效率。

主要規格

方式高溫離子佈植(基板溫度 500 ℃)
支援晶圓尺寸SiC 晶圓
能量最大加速電壓 320 kV・最大 960 keV
主要用途SiC 功率元件的雜質佈植

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

室溫~500°C 的高溫佈植
4/6/8 吋晶圓
業界最高的高溫產能
大電流 Al+ 離子束

主要用途

  • SiC 功率元件的 p 型摻雜(Al 佈植)

製造商

日新離子機器(Nissin Ion Equipment)(總部:日本)

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資料來源

  1. 日新離子機器(Nissin Ion Equipment)官方產品頁面:IMPHEAT-II