IMPHEAT-II 是日新離子機器(Nissin Ion Equipment)針對 SiC 功率元件的離子佈植機。SiC 與矽不同,若不在高溫下佈植容易殘留晶格損傷,因此會使用一邊加熱晶圓一邊佈植的設備。
佈植溫度涵蓋室溫至 500°C,支援 4/6/8 吋晶圓。為強化高溫傳送可靠度與產能的機型,標榜業界最高的高溫產能。
以有助於生產力的大電流 Al+ 離子束,可進行針對 SiC 功率元件的鋁(Al)佈植。採用以該公司中電流機 EXCEED 系列為基礎的高可靠度設計,並透過保養零件共通化提高運用效率。