PE2O8的特點與規格

PE2O8 是 ASM 的 SiC 磊晶成長設備。從電動車、綠色能源到最新的 AI 資料中心，在轉向以更少電力處理更多運算之晶片的過程中，SiC 磊晶扮演重要角色。

具備 2 個精巧的單片式反應爐，實現優異的生產力、高產能與業界最高水準的製程均勻性。反應爐保養簡單快速，可進行包含高溫取放在內、晶圓盒到晶圓盒的全自動運轉。

以橫流熱壁反應爐展現優異的熱控制，採用感應加熱。可處理 6 吋與 8 吋晶圓，並可輕鬆從 PE1O8 移轉製程配方。