PE1O6A／PE1O8的特點與規格

PE1O6A 與 PE1O8 是 ASM 的單腔體 SiC 磊晶成長設備。具備單片式橫流反應爐，在晶圓上發揮業界最高水準的性能。

以晶圓盒到晶圓盒（cassette to cassette）的全自動運轉，可在高溫狀態下直接取放晶圓。

膜厚控制未滿 1%、摻雜物均勻性未滿 2%，表現優異，成長速度最高 60µm/h。保養間隔長、生產力高，可靠度與再現性也高，且占地面積小。用於功率元件電晶體的 SiC 磊晶。