最後更新:2026年10月23日中電流離子佈植機

EXCEED3000AH的特點與規格

日新離子機器(Nissin Ion Equipment)・中電流離子佈植機

EXCEED 系列以附能量過濾器的中電流機發展而來,本機為其 300mm 晶圓用機種,提高了束流量與傳送產能。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

EXCEED3000AH 系列是日新離子機器(Nissin Ion Equipment)的中電流離子佈植機。這是兼具對應奈米技術節點的高生產力與製程可靠度的高成本效益機型,廠商表示已實現業界最高的生產力。

配備可處理包括薄晶圓在內多種基板的傳送系統,並提升了低能量的束流量。平均自動調機(auto tune)時間不到 2 分鐘,可快速完成離子束的啟動。

廠商強調能完全去除能量汙染,並搭載水平・垂直兩個方向的離子束角度回饋系統與多點法拉第系統。這是維持了前代機種的可靠度、製程相容性與零件相容性的進化機型。

主要規格

類別中電流離子佈植機
對應晶圓尺寸300 mm
系譜自 EXCEED2000(1994年)以來的中電流系列
相關機種EXCEED400HY(氫佈植)
主要用途要求佈植角度・能量精度的中劑量佈植

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

可傳送包括薄晶圓在內的多種基板
平均自動調機不到 2 分鐘
水平・垂直的離子束角度回饋、多點法拉第
與前代機種的製程・零件相容

主要用途

  • 需要佈植角度・能量精度的中劑量佈植
  • 井區形成・臨界電壓調整

製造商

日新離子機器(Nissin Ion Equipment)(總部:日本)

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資料來源

  1. 日新離子機器(Nissin Ion Equipment)官方產品頁面:EXCEED3000AH