EXCEED3000AH 系列是日新離子機器(Nissin Ion Equipment)的中電流離子佈植機。這是兼具對應奈米技術節點的高生產力與製程可靠度的高成本效益機型,廠商表示已實現業界最高的生產力。
配備可處理包括薄晶圓在內多種基板的傳送系統,並提升了低能量的束流量。平均自動調機(auto tune)時間不到 2 分鐘,可快速完成離子束的啟動。
廠商強調能完全去除能量汙染,並搭載水平・垂直兩個方向的離子束角度回饋系統與多點法拉第系統。這是維持了前代機種的可靠度、製程相容性與零件相容性的進化機型。