Atlas® G6

最先端のロジック・メモリ向けの OCD・薄膜計測装置。新しい光学系と AI によるレシピ開発を持つ。

Atlas G6とは

Atlas G6 は、Onto Innovation の OCD（光学 CD）・薄膜計測装置です。最先端のロジックとメモリ向けに設計され、次世代の AI 用途に向けて、光学系の強化、AI によるレシピ開発、装置間マッチングの改善を提供します。

次世代の GAA ノードや、次世代 HBM、縦型 DRAM への移行で、工程管理の要求は厳しくなっています。ナノシートが小さくなり DRAM セルが密になるほど、計測の精度、レシピ開発の速さ、装置間マッチングが求められます。

新しい光学設計で S/N 比、分光の安定性、計測精度を高めました。改良したソフトウェアとデータ管理でフリート全体の分光マッチングを高め、新しいデータチャネルと次世代のモデル誘導も備えています。

主な特長

•新しい光学設計
•AI によるレシピ開発
•フリート全体の分光マッチング

主な仕様

方式	OCD（光学 CD）・薄膜計測
特徴	新光学設計で S/N・分光安定性・精度を向上、AI によるレシピ開発
対象	GAA・次世代 HBM・縦型 DRAM

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

スペック比較

複数の機種が掲載している項目を並べています。

項目	KLASpectraShape™ 12k	KLAAxion® T2000	Onto InnovationAtlas® V	Onto InnovationAtlas® G6	Onto InnovationAtlas® III+	Onto InnovationAspect®	Onto InnovationAspect® S	ノヴァ・メジャリング・インスツルメンツ（Nova）Nova PRISM
方式	—	X 線による CD・形状計測（非破壊）	—	OCD（光学 CD）・薄膜計測	分光反射率＋分光エリプソメトリ	赤外光学 CD（IRCD）・非破壊	モデルベース赤外反射率計測・非破壊	—
測定項目	CD・メタルゲートリセス・側壁角・レジスト高さ・ピッチウォーキング	曲がり・反り・CD プロファイル・エッチング深さ・楕円度・傾き	CD・埋もれ構造・GAA のナノワイヤ個別寸法	—	—	—	—	CD・形状（弱い感度のパラメータを含む）
主要用途	先端ロジック・メモリの寸法管理	3D NAND・DRAM の高アスペクト比構造	GAA・3D NAND・DRAM の工程管理	—	—	—	—	成膜・エッチング工程のインライン管理
測定方式	分光エリプソメトリー＋反射率（多入射角・偏光）	—	DUV 4×4 ミュラー行列 SE＋偏光垂直入射反射率	—	—	—	—	分光干渉＋分光反射＋分光エリプソメトリー
関連機種	SpectraShape 11k／10K	—	Atlas G6（次世代機）	—	—	—	—	—
特徴	—	—	—	新光学設計で S/N・分光安定性・精度を向上、AI によるレシピ開発	—	—	小スポットでスクライブライン上を測定	—
対象	—	—	—	GAA・次世代 HBM・縦型 DRAM	—	3D NAND・3D DRAM	—	—
測定	—	—	—	—	—	高アスペクト比構造の Z 方向プロファイル	カーボンハードマスク・エッチング後 3D 構造の寸法・均一性	—