Echo的特點與規格

Echo 是 Onto Innovation 採用皮秒超音波的量測設備，可在產品晶圓上線上精確進行金屬膜厚量測、離子佈植監控與熱傳導率評估。

這是一款線上綜合金屬膜量測設備，可量測先進邏輯、記憶體、先進封裝與特殊元件的單層・多層金屬膜。以新的光學設計擴大膜厚量測的動態範圍，1 台即可量測 50Å 至 35µm。也可擴展至高深寬比的先進 3D NAND 結構量測。

透過 EASy 軟體，可開發用於建模複雜多層堆疊的獨家演算法。除金屬膜量測外，功能也擴展到材料評估。