PrimaScan的特點與規格

PrimaScan 是 Onto Innovation 的晶圓缺陷檢測設備。特點是具彈性、靈敏度高，且每 1 次檢測的持有成本最低。

透過獨家光學系統與感測技術的雷射散射量測與成像，可確實檢測不透明基板以及透明・半透明基板上 nm 尺寸的缺陷。可用於研發，也可用於量產。

以多個偵測通道，對表面微粒、刮痕、凹坑、突起、表面污染、薄膜與晶圓的應力、孔洞與異物、晶圓邊緣的崩角與裂痕進行偵測・量測・分類・成像。同時用於晶圓的進料品質管理與線上製程監控。