異物・微粒檢測設備是什麼

異物・微粒檢測設備是以雷射散射光檢測附著在晶圓表面的微粒與刮傷，並將尺寸與座標輸出成分布圖（map）的設備。無圖案的裸晶圓以暗場散射方式為主流，可檢測到數十 nm 級的粒子。用於設備啟用與維護後確認微粒產生量，以及按薄膜沉積、蝕刻設備逐台釐清汙染來源；能從檢測分布圖的形狀推定發生設備與發生機制，是其在現場的價值。

重點整理

以雷射散射光檢測微粒，並將尺寸與座標製成分布圖
裸晶圓用以暗場散射方式為主流，可檢測到數十 nm 級
用於確認設備維護後的微粒產生量
可從分布圖形狀推定汙染的發生設備與發生機制

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