PrimaScan™

レーザー散乱と画像化で、不透明・透明な基板の nm サイズの欠陥を検査するウェーハ欠陥検査装置。

PrimaScanとは

PrimaScan は、Onto Innovation のウェーハ欠陥検査装置です。柔軟で感度が高く、1 回の検査あたりの所有コストがもっとも低いことを特長としています。

独自の光学系とセンシング技術によるレーザー散乱計測とイメージングで、不透明な基板や透明・半透明な基板の nm サイズの欠陥を確実に検査します。研究開発にも量産にも使えます。

複数の検出チャネルで、表面のパーティクル、傷、ピット、突起、表面汚染、膜やウェーハの応力、ボイドや異物、ウェーハ端のチップやクラックを検出・測定・分類・画像化します。ウェーハの受け入れ品質管理とインラインの工程監視の両方に使われます。

方式	レーザー散乱計測＋イメージング（多チャネル）
検出対象	パーティクル・傷・ピット・突起・汚染・応力・ボイド・エッジのクラック
主要用途	受け入れ品質管理・インライン工程監視

※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。

複数の機種が掲載している項目を並べています。

項目	KLASurfscan® SP7XP	日立ハイテクLS9300AD	Onto InnovationPrimaScan™
主要用途	5 nm 以下ロジック・先端メモリの装置／工程モニタ	ウェーハメーカーの出荷検査	受け入れ品質管理・インライン工程監視
検査対象	パターンなしウェーハ（ベア・膜付き・レジスト）	パターンなしウェーハ（表面・裏面）	—
検出方式	DUV レーザー（位相差チャネル・垂直照明）	暗視野レーザー散乱＋DIC（微分干渉）検査	—

1機種だけが掲載している項目（4件）

検出感度	12.5 nm	—	—
特徴	—	エッジグリップ・回転ステージによる両面検査	—
方式	—	—	レーザー散乱計測＋イメージング（多チャネル）
検出対象	—	—	パーティクル・傷・ピット・突起・汚染・応力・ボイド・エッジのクラック