SC-80EX的特點與規格

SC-80EX 是 SCREEN 的噴霧塗佈機。在 MEMS、SAW 元件、功率元件等的製造中，具立體結構元件的圖形形成與各種材料塗佈的需求日益升高。曾獲半導體年度大獎（Semiconductor of the Year）2015 首獎。

以獨家噴霧塗佈技術，可在旋轉塗佈機難以處理的凹凸段差基板及貫穿基板上，穩定且均勻地塗佈光阻與保護膜材料。透過多次塗佈低黏度光阻也能形成厚膜，且用比旋轉塗佈機更少的藥液完成塗佈。

可依研發到量產等用途組成設備架構，以獨家傳送系統與多個處理單元實現高產能。結構簡化並抑制霧氣飛散，使保養更容易。