FC-3100的特點與規格

FC-3100 是 SCREEN Semiconductor Solutions 的批次式濕式清洗台。採用將晶圓連同載具浸入藥液槽清洗的方式，透過高產能緩衝模組與高速傳送模組，實現每小時 1,000 片的高生產力。

為提高可靠度，採用將設備本體分成 7 個獨立模組再組合的簡潔結構。各模組為標準化的獨立結構，以 2 個清洗槽為 1 模組的精簡設計，從組裝到調整、檢查、搬入都能順利進行。

乾燥採用減壓乾燥系統 HiLPD。無需載氣 N₂ 即可供應高濃度 IPA，因此能大幅抑制水痕。以高濃度 IPA 迅速降低表面張力，也能防止圖形崩塌。