CW-2000 是 SCREEN 的精簡型濕式清洗台。採用將藥液供應單元與冷卻單元納入本體內的一體式設計，與該公司過去的設備相比節省約 45% 的空間。
1台即可支援 50mm 至 200mm 的廣泛晶圓尺寸。處理槽可擴充為 4・6・8 槽，生產力為過去的 1.5 倍，每小時 150 片。
除了過去的 DIS（Drain & IPA Substitution）乾燥之外，也可選擇不使用 IPA、對環境友善的熱風乾燥（HBD）。也支援有助於提升良率的 RCA 清洗。
CW-2000的特點與規格
SCREEN（斯庫林）・批次式清洗設備
占地面積減少約 45%、生產力提升為 1.5 倍的小型批次式清洗設備。支援 50～200mm 晶圓。
產品概要
主要規格
| 適用晶圓尺寸 | 50～200 mm |
|---|---|
| 處理能力 | 每小時 150 片（為過去的 1.5 倍） |
| 乾燥 | DIS 乾燥・熱風乾燥（HBD） |
規格依廠商公開資料整理，實際規格與選配請以廠商資料為準。
主要特點
節省約 45% 的空間
支援 50～200mm
每小時 150 片
不使用 IPA 的熱風乾燥
主要用途
- 小尺寸晶圓的批次清洗
- RCA 清洗
製造商與在台據點
在台據點
- 台灣迪恩士半導體科技（SCREEN SPE Taiwan）（新竹）：1990 年成立的台灣子公司
- 服務據點（林口・台中・台南）：就近支援北部、中部與南部科學園區的晶圓廠