FC-821L的特點與規格

FC-821L 是 SCREEN 的省空間批次式清洗設備（濕式清洗台）。實現將晶圓以一半間距排列傳送的半間距傳送，縮小處理槽以減少藥液與純水的用量。

搭載藥液循環槽（CHB），也能使用高溫藥液與高濃度藥液，因此支援廣泛的清洗製程。

以在 1 個槽中進行藥液與水洗的單槽處理，可在微細圖形內部始終保持濕潤的狀態下清洗，處理中的晶圓不接觸大氣，也能抑制原生氧化層的產生。1 槽可使用 5 種藥液。以減壓乾燥設備也能防止水痕。