DT-3000的特點與規格

DT-3000（SOKUDO DUO）是 SCREEN Semiconductor Solutions 支援 300mm 的塗佈顯影機。採用將2條製程線並行收納的雙軌方式，實現每小時 450 片以上的產能。

雙軌的優點是不必提高傳送速度就能增加處理片數。由於不會對傳送系統造成過大負擔，也能確保可靠度。2條線可以獨立運轉，一條保養期間另一條仍可持續生產，因此能減少設備停機時間。

將2條線收納在精簡的平台上，也大幅縮減了占地面積。支援先進浸潤式微影、電子束、DSA（導向自組裝），並搭載有助於提升量產良率的獨家技術。