DR-8000 是 SCREEN 用於光罩品質管理的自動線寬量測設備。搭載高解析度 UV 顯微鏡，以奈米級的高重複精度量測微細圖案的線寬（CD）。作為光罩業界的標準設備，擁有大量實績。
以 CD 量測專用 UV 物鏡、均勻的 UV 穿透照明、邊緣判定演算法與獨家對焦系統，準確量測孤立線、L&S、孔・點、光阻圖案等。
也支援在曝光波長下控制 NA 與照明 σ 的空間影像觀察、以獨家雙狹縫法量測相位移量，以及重複精度 0.1% 以下的穿透率量測。可依缺陷檢測設備的座標進行高解析度複查，也能量測附光罩保護膜的光罩。適用 4～9 吋半導體用光罩，以及 G6～G10 的大型面板用光罩。