UF3000EX-e 是東京精密（ACCRETECH）的全自動晶圓針測機。用於將探針卡的探針接觸晶圓上的晶片進行電性檢測的晶圓測試。
以新開發的 XY 載台驅動與演算法取得高產能。支援 200～300mm 的晶圓，也能處理特殊晶圓。具備光學式目標鏡（OTS）與 15 吋觸控面板。
UF3000EX-e的特點與規格
東京精密（ACCRETECH）・晶圓針測機
東京精密（ACCRETECH）的全自動晶圓針測機。以新開發的 XY 載台驅動與演算法取得高產能。
產品概要
主要規格
| 適用晶圓尺寸 | 200 ～ 300 mm（含特殊晶圓） |
|---|---|
| 方式 | 全自動晶圓針測機 |
| 主要功能 | OTS（光學式目標鏡）・15 吋觸控面板 |
| 主要用途 | 晶圓測試（針測） |
規格依廠商公開資料整理，實際規格與選配請以廠商資料為準。
主要特點
新開發的 XY 載台驅動
200～300mm（含特殊晶圓）
OTS・15 吋觸控面板
主要用途
- 晶圓測試（針測）
製造商
東京精密（ACCRETECH）（總部：日本）