Prexa MS的特點與規格

Prexa MS 是東京威力科創（TEL）支援 300mm 的全自動晶圓針測機。除了 Prexa 的先進功能之外，還搭載記憶體晶圓測試所需的功能。

以先進 DRAM 為中心，記憶體的測試接腳數與發熱量持續增加。Prexa MS 以選配支援最大 1,000kg 的超高負載，透過高負載控制進行準確的接觸。

也具備對應高發熱的吸熱控制，實現未來記憶體的全晶圓測試（一次接觸）。XY 針測精度為 ±0.8µm。