Prexa的特點與規格

Prexa 是東京威力科創（TEL）以新平台開發的新一代 300mm 全自動晶圓針測機。

除了微縮之外，3 維堆疊以及組合多個・異質元件的先進封裝也持續推進，在晶圓測試中確保 KGD（已知良品晶粒）變得愈來愈重要。Prexa 在承襲 Precio 系列眾多技術的同時，透過減少錯誤協助與擴充自動化功能，實現更高的生產力。

以最新銳的光學系統與新演算法實現高精度接觸，並將設定等操作自動化。也具備高速檢測探針卡針尖與探針痕的功能。採用線性馬達平台。