Precio octo 是東京威力科創(TEL)支援 8 吋晶圓的晶圓針測機。為降低測試成本與提升 OEE(整體設備效率),採用超高速步進與高速晶圓交換功能,實現大幅提升的生產力。
透過強化結構體以減少振動,以及大幅改善主要零件・光學零件,實現高度穩定的運轉。
搭載選配的超高速針痕自動檢測設備 TELPADS-I 後,可進行探針卡的良否判定與針痕的品質保證。
以超高速步進(index)與高速晶圓交換提升生產力的 TEL 8 吋晶圓針測機。
Precio octo 是東京威力科創(TEL)支援 8 吋晶圓的晶圓針測機。為降低測試成本與提升 OEE(整體設備效率),採用超高速步進與高速晶圓交換功能,實現大幅提升的生產力。
透過強化結構體以減少振動,以及大幅改善主要零件・光學零件,實現高度穩定的運轉。
搭載選配的超高速針痕自動檢測設備 TELPADS-I 後,可進行探針卡的良否判定與針痕的品質保證。
| 適用晶圓尺寸 | 150/200 mm |
|---|---|
| XY 精度 | ±2.0µm |
| 選配 | 超高速針痕自動檢測 TELPADS-I |
規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。