Precio XL的特點與規格

Precio XL 是東京威力科創支援 200mm／300mm 的全自動晶圓針測機。在晶圓測試（針測）中，讓探針卡的探針接觸晶圓上晶片的電極，與測試機進行電氣連接的設備。

採用線性馬達，實現高生產力、接觸性能、潔淨度改善與短交期對應。XY 精度為 ±1.8µm、Z 精度為 ±5.0µm，支援 200kg／300kg（選配）的負載。

具備高速針痕檢測 TELPADS-I、自動調整探針卡平行度的 Auto Leveling、多樣的 Z 軸控制功能，以及計算最佳接觸程序的 CoSMOz 軟體，也確保了參數相容性。系列中還有針對 8 吋的 Precio octo，以及針測機網路系統 PN-300。