晶圓針測機是什麼

晶圓針測機(Wafer Prober)是在切割前的晶圓狀態下,檢測所有晶片電氣特性的設備。讓探針卡的微細探針精密接觸晶片的焊墊,量測直流・交流特性、功能動作、漏電流等。及早檢出不良晶片並以墨水標記,降低流入後段製程的後續成本。也用於收集良率管理與製程改善的資料。

重點整理

一次檢測切割前所有晶片的電氣特性
以探針卡精密接觸,量測 DC/AC 特性・功能動作
及早檢出不良晶片,以墨水標記降低後段製程成本
收集良率管理・製程監控資料
也支援高溫・低溫環境下測試的可靠度評估

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