最終更新 2026-10-19

FOPLPとは(ファン・アウトパネルレベルパッケージング)

FOPLP (Fan-Out Panel-Level Packaging)
目次8項目
  1. 定義・解説
  2. 図解
  3. 紛らわしい言葉の切り分け
  4. 設備の製造メーカー
  5. 関連する製品
  6. 関連用語
  7. 比較・違いを学ぶ
  8. 出典・参考資料

定義・解説

FOPLP(Fan-Out Panel-Level Packaging:ファン・アウトパネルレベルパッケージング)は、ファン・アウト型パッケージングをウェハ(直径300mm円形)ではなく大型矩形パネル(例:510x515mm、600x650mm)上で実施するパッケージング技術です。パネルの面積はウェハの4〜10倍以上に達するため、1回の処理で取れるチップ数が大幅に増えてコスト削減が期待されます。Samsung Electro-Mechanics・ASE Group・Amkorなどが開発を進め、5G通信チップ・AIエッジデバイス向けへの適用が始まっています。

FOPLPの製造工程はFOWLP(InFO等)と類似していますが、大型パネルに固有の技術課題があります。最大の課題はパネルの反り(Warpage)制御で、熱処理時に全面での温度均一性を保ちつつ変形を最小化する必要があります。また、円形ウェハ前提の既存装置との非互換性があり、DISCO・東京エレクトロン・SUSS MicroTecなどが対応装置の開発を進めています。RDLの位置合わせ精度(ダイシフト抑制)も重要な歩留まり管理項目です。

FOPLPはCoWoS・InFOと比較してコスト面での優位が期待されますが、量産歩留まりと精度の確保が普及の鍵です。ガラスコア基板との組み合わせ(Panel-Level Glass Packaging)でさらなる性能・コスト最適化を目指す研究も進んでいます。cowos-vs-foplpの比較記事、およびpanel-level-packagingの用語も合わせて参照してください。2026〜2028年にかけて量産の本格化が期待される次世代パッケージング技術の一つです。

図解

FOPLP(ファンアウトパネルレベルパッケージ)とFOWLPの比較
AI向けの大型パッケージのコストを下げる手段として注目されている。

紛らわしい言葉の切り分け

CoWoSとFOPLP。違いは処理の単位と基板です。CoWoSは300mmウェハ単位でシリコンインターポーザーを作り、非常に細かい配線を引けます。FOPLPは大きな角型パネルで一括処理してコストを下げる方式で、配線の細かさではまだCoWoSに及びません。 比較記事 →

設備の製造メーカー

この用語に関連する製品

型番は各社の公式製品ページで確認したものです。出典のリンクは各製品ページに載せています。

DSP-100ニコン(Nikon)・レーザー直接描画装置
Golden EagleCamtek・パネルレベルパッケージ(FOPLP)装置

関連する装置カテゴリ

同じトピックの用語

先端パッケージング のトピックで関連する用語です。

同じトピックの企業

BesiオランダKulicke & Soffa米国EV GroupオーストリアAmkor Technology米国京セラ日本

比較・違いを学ぶ

出典・参考資料

  1. ニコン(Nikon)「DSP-100 製品ページ」(2026/10/07 確認)