RE-3500とは
RE-3500 は、SCREEN のエリプソ式膜厚測定装置です。IoT 向けの電子デバイスに対応した計測装置です。
マイクロスポットの光学系で、40µm 角の小さなエリアを高い精度で測ります。新しく開発した光学ヘッドで、従来の 2 倍のスループットを実現しました。
分光エリプソメータを搭載し、膜厚と光学定数を同時に測れるため、膜質の管理が重要な工程や薄膜材料の開発、成膜プロセスの開発に向いています。オプションの単波長エリプソメータで、20nm 以下の超薄膜も高い精度で測れます。光源には長寿命のレーザーダイオードを使い、運用コストを下げています。
主な特長
- •40µm 角の微小エリア測定
- •膜厚と光学定数を同時測定
- •単波長エリプソ（オプション）
- •スループット 2 倍
主な仕様
| 方式 | 分光エリプソメータ（単波長エリプソはオプション） |
|---|---|
| 測定エリア | 40µm 角 |
| スループット | 従来比 2 倍 |
※ メーカーの公開情報に基づく参考値です。構成・オプションにより異なります。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
スペック比較
複数の機種が掲載している項目を並べています。
| 項目 | 堀場製作所UVISEL Plus | 大塚電子FE-5000 シリーズ | SCREENホールディングスRE-3500（エリプソ式膜厚測定装置） |
|---|---|---|---|
| 測定方式 | 位相変調型分光エリプソメトリー | 回転補償子型分光エリプソメトリー | — |
| 特徴 | 入射角 40 ～ 90° 可変・マイクロスポット 50 µm・3 分で全波長測定（FastAcq） | 測定角度自動可変・位相差板自動着脱 | — |
| 主要用途 | 薄膜の膜厚・光学定数測定 | 各種薄膜の高精度解析 | — |
1機種だけが掲載している項目（5件）
| 波長範囲 | 190 ～ 2,100 nm | — | — |
|---|---|---|---|
| 関連機種 | — | FE-5000S（卓上型） | — |
| 方式 | — | — | 分光エリプソメータ（単波長エリプソはオプション） |
| 測定エリア | — | — | 40µm 角 |
| スループット | — | — | 従来比 2 倍 |
※ スペックは各メーカーの公開情報に基づく参考値です。メーカーが公表していない項目は「—」としています。正確な仕様はメーカーへお問い合わせください。
主な用途
- •薄膜の膜厚・膜質管理
- •成膜プロセス開発
掲載カテゴリ
RE-3500は次の装置カテゴリで他社製品と並べて掲載しています。
メーカー
SCREENホールディングス
半導体洗浄装置の世界的リーダー。表面処理、ダイレクト描画、画像処理の3大コア技術で、ナノレベルの高精度加工を実現。
エリプソメータのほかの製品
SCREENホールディングスのほかの製品
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関連用語
出典・確認した公開情報
最終確認日：2026-10-07