阿瑞尼斯圖（Arrhenius Plot）是以反應或劣化速率的對數為縱軸、絕對溫度的倒數（1/T）為橫軸所繪製的圖表。當速率k對溫度T遵循阿瑞尼斯方程式 k＝A×exp（−Ea／kBT）時（Ea為活化能，kB為波茲曼常數），兩邊取對數即得 ln k＝ln A−（Ea／kB）×（1/T），圖形會成為直線。最大的優點是可從其斜率求出活化能Ea。
活化能是反應或劣化發生時必須越過的能量障壁高度，代表對溫度的敏感程度。數值越大，溫度只要稍微升高，速率就會大幅改變。在半導體中，會以阿瑞尼斯圖整理摻雜物的擴散係數、熱氧化速率、CVD沉積速率等的溫度相依性。在CVD中，低溫的反應控制區直線斜率較陡，高溫的質傳控制區斜率較緩，因此可從圖形的轉折點得知控制機制切換的溫度。
在可靠度評估中，阿瑞尼斯圖用於將加速試驗的結果換算為實際使用條件。例如在高溫下進行的HTOL試驗或電遷移試驗中，量測數個溫度下的壽命，將壽命的對數對1/T作圖，即可從斜率求出活化能。利用這個值計算試驗溫度與實際使用溫度之間的加速因子，推估實際使用下的壽命或故障率。若混有多種故障機制就不會呈直線，因此從圖形的形狀確認故障機制是否改變也很重要。