懸臂（Cantilever）是指只固定一端、另一端自由的樑，也稱為「懸臂樑」。前端受力時樑會撓曲，而撓曲量與力量成正比，因此可作為量測微小力量或位移的彈簧，或作為抵壓探針的彈性體。在半導體中，它出現在原子力顯微鏡（AFM）的探針、晶圓測試探針卡的探針，以及MEMS感測器或開關的結構中。
AFM的懸臂是在長約100μm的矽或氮化矽薄樑前端，裝上前端半徑數nm的尖銳探針。探針掃過試片表面時，懸臂會因與表面原子之間的作用力而撓曲，再以照射在其背面之雷射光反射角度的變化（光槓桿）偵測奈米以下的撓曲量。懸臂的彈簧常數與共振頻率，會依接觸式量測或振動輕敲式量測等量測模式來選擇。在半導體中，用於量測表面粗糙度、段差以及CMP後的平坦度。
在探針卡中，懸臂式是歷史最悠久的方式。將鎢等細針斜向伸出，以其前端抵壓晶圓上的焊墊，使晶片與測試機電氣連接。探針撓曲可使抵壓力保持一定，並刮除焊墊表面的氧化膜，確保接觸。其結構簡單、價格低廉，但探針數量與配置的自由度有限，因此在多接腳・窄間距晶片或同時量測多顆晶片的用途中，會使用垂直式或MEMS式探針卡。