CPP(Contacted Poly Pitch,接觸多晶矽間距)是邏輯晶片中電晶體閘極排列的間距,也稱為閘極間距(gate pitch)。是閘極線寬加上與相鄰閘極之間的間隔(其間放置源極・汲極電極的部分)的長度。名稱中的「poly」源於過去閘極以多晶矽製作。金屬間距(metal pitch)則是導線層中金屬線排列的間距,最細層的間距特別稱為最小金屬間距(MMP)。
現在的製程節點名稱(5nm、3nm 等)並不代表實際尺寸。過去與閘極長度大致一致,但 FinFET 出現後已成為世代的稱呼。因此比較各公司技術時,以 CPP 與最小金屬間距作為代表實際微縮程度的指標。參考值是5nm 世代 CPP 約50nm,最小金屬間距略低於30nm。
邏輯電路面積大致與 CPP 和金屬間距的乘積成正比,因為標準元件(電路的基本元件)的寬度由幾條 CPP 決定,高度由幾條金屬間距(軌數)決定。不過,縮小 CPP 會使閘極間沒有放置電極的空間,縮小金屬間距會使導線電阻上升、曝光難度也增加。因此近年不只縮小尺寸,也重視以改良電晶體與導線結構來縮小元件的 DTCO(設計技術協同最佳化)。