浮動閘極是快閃記憶體記憶胞中用來儲存電子、記錄資訊的導體層(主要為多晶矽),四周被絕緣膜完全包圍。其結構是在電晶體閘極下方多夾 1 片不與任何地方電性相連的「浮動」閘極,依其中是否有電子,電晶體的臨界電壓會改變,藉此區分 0 與 1。
寫入時,在上方的控制閘極施加高電壓,使電子穿過薄的穿隧氧化層(FN 穿隧效應),被封存在浮動閘極中。NOR 快閃記憶體也會採用注入在通道中加速的高能電子(熱電子)的方式。電子被絕緣膜包圍,即使切斷電源也能長時間不逃逸,這就是非揮發性的原理。1967 年由貝爾實驗室的姜大元(Kahng)與施敏(Sze)提出,之後促成了東芝發明快閃記憶體。
浮動閘極是導體,因此絕緣膜只要有 1 處缺陷,儲存的電子就會從那裡一次全部逃逸。此外,記憶胞彼此靠近時,相鄰閘極的電荷會互相影響。基於這些原因,3D NAND 多改用將電子分散捕捉在絕緣體(氮化矽)內缺陷中的電荷捕捉方式。另一方面,英特爾(現為 Solidigm)在 3D NAND 中仍持續採用浮動閘極,而在 NOR 快閃記憶體與微控制器內建的快閃記憶體中,浮動閘極至今仍是主流。