最後更新:2026年10月23日記憶體記憶體半導體中國大陸:浮栅

浮動閘極是什麼(Floating Gate)

Floating Gate

浮動閘極是快閃記憶體記憶胞中,以絕緣膜包圍、不與任何地方相連的導體層,藉由在其中儲存電子來記錄資訊的結構。電子的有無會改變電晶體的臨界電壓,藉此區分 0 與 1。由於是導體,電子容易從缺陷處一次全部逃逸,因此 3D NAND 多已改用電荷捕捉方式。

目錄7 項
  1. 定義與原理
  2. 圖解
  3. 常見問題
  4. 相關企業
  5. 相關用語
  6. 比較文章
  7. 資料來源

定義與原理

浮動閘極是快閃記憶體記憶胞中用來儲存電子、記錄資訊的導體層(主要為多晶矽),四周被絕緣膜完全包圍。其結構是在電晶體閘極下方多夾 1 片不與任何地方電性相連的「浮動」閘極,依其中是否有電子,電晶體的臨界電壓會改變,藉此區分 0 與 1。

寫入時,在上方的控制閘極施加高電壓,使電子穿過薄的穿隧氧化層(FN 穿隧效應),被封存在浮動閘極中。NOR 快閃記憶體也會採用注入在通道中加速的高能電子(熱電子)的方式。電子被絕緣膜包圍,即使切斷電源也能長時間不逃逸,這就是非揮發性的原理。1967 年由貝爾實驗室的姜大元(Kahng)與施敏(Sze)提出,之後促成了東芝發明快閃記憶體。

浮動閘極是導體,因此絕緣膜只要有 1 處缺陷,儲存的電子就會從那裡一次全部逃逸。此外,記憶胞彼此靠近時,相鄰閘極的電荷會互相影響。基於這些原因,3D NAND 多改用將電子分散捕捉在絕緣體(氮化矽)內缺陷中的電荷捕捉方式。另一方面,英特爾(現為 Solidigm)在 3D NAND 中仍持續採用浮動閘極,而在 NOR 快閃記憶體與微控制器內建的快閃記憶體中,浮動閘極至今仍是主流。

圖解

控制閘極、閘極間絕緣膜、浮動閘極、穿隧氧化層、矽基板的堆疊結構

點擊圖片放大 2 倍

膜厚與材料依世代而異。

浮動閘極(Floating Gate)的常見問題

浮動閘極與電荷捕捉有何不同?
儲存電子的位置不同:浮動閘極是導體(多晶矽),電荷捕捉則是絕緣體(氮化矽)中的缺陷。在導體中電子可自由移動,絕緣膜只要有 1 處缺陷,電子就可能全部逃逸;在絕緣體中電子則分散被捕捉,因此對局部缺陷較有耐受性。
為什麼切斷電源後資料不會消失?
因為浮動閘極四周被絕緣膜完全包圍,一旦封存的電子,除非施加高電壓,幾乎無法進出。即便如此,電子仍會在長時間中一點一點漏失,因此產品會規定能保存資料的期間(資料保存)。

相關企業

比較文章

所屬主題

資料來源

  1. 鎧俠(Kioxia):技術用語集(2026年10月19日確認)