親水性（Hydrophilicity）是物體表面容易與水相容、水會薄薄擴展開來的性質；相反地，排斥水而使水滴呈圓珠狀的性質稱為疏水性（撥水性：Hydrophobicity）。偏向哪一種，以表面上水滴邊緣與表面所夾的角度，即接觸角來表示，接觸角越小越親水，越大越疏水。一般以小於90°為親水性、90°以上為疏水性，10°以下極易潤濕的狀態稱為超親水性。
矽晶圓表面會因處理方式不同，親疏水性大幅改變。以氫氟酸（DHF）去除原生氧化層後的矽表面，會以氫終端而呈疏水性，排斥水。利用這個性質，晶圓拉起時若水被排開，即可判斷氧化層已去除。另一方面，經SC1清洗或臭氧水處理的表面以及氧化膜表面，因帶有羥基（-OH）而呈親水性。疏水性表面容易殘留水滴，乾燥時溶解的成分會析出而容易產生水痕（watermark），因此會影響IPA乾燥等乾燥方式的選擇。
親水性、疏水性的控制運用於許多製程。塗佈光阻前的HMDS處理會使表面變為疏水性，以提高光阻附著力。晶圓之間直接貼合的接合，則使表面呈親水性，利用羥基之間的鍵結。浸潤式曝光中，會讓光阻上方的膜層（top coat）呈疏水性，避免水殘留在高速移動的晶圓上。表面狀態以接觸角量測儀量測水滴角度來管理，由於即使微量有機污染也會改變接觸角，也被當作表面潔淨度的簡易指標。