IGZO 是由銦(In)、鎵(Ga)、鋅(Zn)、氧(O)組成的氧化物半導體材料。其特點是即使在原子排列不規則的非晶狀態下,電子也很容易移動;2004 年,東京工業大學(現為東京科學大學)的細野秀雄等人發表了能以非晶 IGZO 製作薄膜電晶體(TFT)的成果。已作為驅動顯示器像素的電晶體實用化,目前也在研究應用於記憶體與邏輯電路。
非晶 IGZO 的電子遷移率約為 10cm²/Vs,是液晶面板長期使用的非晶矽的 10 倍以上。可在低溫下以濺鍍在大型玻璃基板上均勻製作,因此適合大型面板。另一個重要特點是關閉時流過的漏電流極小,在畫面不需改寫的期間可以讓電晶體停止,因此能降低顯示器的耗電量。
漏電流小這一點,對記憶體也很有吸引力。DRAM 因電荷會從電容漏出,需要定期刷新,但若使用 IGZO 電晶體,能長時間保持電荷,有可能大幅減少刷新次數。由於能在低溫下製作,也能疊在導線層之中製作,記憶體廠商與研究機構正將其作為 3D DRAM 與單體 3D 整合(monolithic 3D)的材料進行開發。