iSystem Controller 是應用材料（Applied Materials）的小型控制器。一邊監控製造設備的運作一邊收集資料，產生資源消耗與溫室氣體排放的報告。
1 台最多可對應 4 台設備，不僅應用材料製，也可安裝於他廠製的 200mm・300mm 設備。使設備與次廠務（幫浦與尾氣處理設備）同步，在設備待機期間將次廠務設備切換為節能模式。
支援 SEMI E167・E175 休眠模式規格，從待機回到處理狀態不到 2 秒。可減少約 20% 的能源相關成本，擁有超過 3,000 個連接實績。不需要改造設備或重新認證製程。