EHS（Environment, Health and Safety：環境安全衛生）是指為了減少事業活動對環境造成的影響、保護勞工健康與安全的措施，或負責這些工作的部門。也稱為ESH、HSE、SHE，字母順序不同但意思相同。半導體廠處理毒性・可燃性氣體、強酸強鹼化學品、高電壓、輻射與雷射，以及大量的水與能源，因此是特別重視EHS的產業。
半導體廠的安全衛生，重點在於防止特殊氣體與化學品洩漏，並在萬一發生時避免擴大災害。廠內配備氣瓶櫃、洩漏偵測、緊急遮斷與排氣設備，並徹底要求作業人員穿戴防護具及接受作業流程教育。製造設備則須依循以SEMI S2為首的安全準則進行設計。化學物質的處理，在日本依勞動安全衛生法及掌握化學物質排放量的PRTR制度等法規進行管理。
在環境方面，溫室氣體、水、能源與化學物質的管理是重大課題。用於蝕刻或設備清潔的CF₄、NF₃、SF₆等含氟氣體，溫室效應是二氧化碳的數千～數萬倍，因此以尾氣處理設備分解以減少排放，也在推動改用溫室效應較小的替代氣體。由於大量使用超純水，需藉由廢水處理與回收再利用來減少用水量，工廠電力轉換為再生能源也受到要求。近年來，難以分解的有機氟化合物（PFAS）的法規動向，也影響著材料的選擇。