切割膠帶、BG 膠帶是什麼

切割膠帶與 BG 膠帶是用來固持晶圓的黏著膠帶。切割膠帶在切割過程中固定貼於晶圓框架(ring frame)上的晶圓,並使切開後的各個晶片不致散落。晶背研磨用的 BG(Back Grind)膠帶則在研磨時保護正面電路,同時平整地支撐晶圓。兩者都必須同時滿足「製程中確實固持、結束後無殘膠剝離」這兩項相互矛盾的要求,因此以 UV 照射降低黏著力的 UV 硬化型被廣泛使用。

重點整理

在切割過程中固定晶圓與晶片的黏著膠帶
BG 膠帶在晶背研磨時保護正面電路並平整支撐
製程中須確實固持,結束後須無殘膠剝離
以 UV 照射降低黏著力的 UV 硬化型被廣泛使用

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