隱形切割(Stealth Dicing:SD)是將雷射光聚焦於晶圓內部形成改質層(多光子吸收造成的加工痕),之後再以擴片(擴張膠膜)將晶圓裂斷成單顆晶粒的切割技術,由迪思科(DISCO)實用化。與以刀片(砂輪)切削的傳統方法不同,此技術不會物理性切削表面,因此不會產生切屑(debris),適合加工極薄晶圓與易碎材料。
最大的優點是切割道損耗(kerf)幾乎為零,可大幅抑制崩邊(chipping,端面缺損)與微裂紋。因此晶粒的抗折強度得以提升,即使是記憶體多層堆疊或卡片用途等薄化至 50μm 以下的晶圓,也能以高良率進行單顆化。由於屬於乾式製程,不使用純水或切削水,也有助於減輕清洗負擔。
製程上,依晶圓厚度將雷射的聚焦位置(改質層深度)分成多段形成,再藉由切割膠膜的擴張施加應力使其裂斷。此技術也逐漸應用於 MEMS、影像感測器等不希望損傷表面結構的元件,以及 SiC 等硬脆材料的加工。
隱形切割是迪思科的註冊商標與核心技術,與雷射切割、電漿切割並列為新世代的單顆化手法。考量到刀片切割在成本與產出量上仍保有優勢的取捨,隱形切割正於要求薄型化與高可靠度的用途中逐步普及。