最後更新:2026年10月23日光罩尺寸・平坦度量測設備

MASK MVM-SEM E3650的特點與規格

愛德萬測試(Advantest)・光罩尺寸・平坦度量測設備

E3600 系列的光罩用多維觀察・測長 SEM。量測產能為前一代機型 E3640 的 2 倍。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

MASK MVM-SEM E3650 是愛德萬測試(Advantest)的光罩用 CD-SEM(尺寸量測設備)。以獨家的電子束掃描技術,高精度、高穩定地量測光罩上的圖案尺寸。

對象為 sub-10nm 節點元件用光罩、EUV 光罩、奈米壓印的母模板。支援微細圖案的 CD 量測、MAM(Move Acquire Measure)時間最佳化、大視野量測、使用設計資料的 DBM(Design Based Metrology),以及 3D 觀察。

量測產能提升為前一代機型 E3640 的 2 倍,量測重複性與長期 CD 量測穩定性也有所提高。是為因應多重圖案化與微縮所增加的光罩數與量測點數而設計的設備,為廣受採用的 E3600 系列最新機型。

主要規格

量測方式光罩用 CD-SEM(多維觀察・測長)
對象光罩先進光罩・EUV 光罩・NIL 模板
相關機型E3660(面向 2nm 以後・2025年)
主要用途光罩圖案尺寸・輪廓的量測

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

EUV 光罩・NIL 模板的 CD 量測
量測產能為前一代機型 E3640 的 2 倍
DBM(設計基礎量測)・3D 觀察・大視野量測

主要用途

  • 先進光罩・EUV 光罩的尺寸量測
  • 奈米壓印用模板的量測

製造商與在台據點

在台據點
  • 愛德萬測試(台灣)(新竹縣竹北市):1990 年成立的台灣子公司總部
  • 高雄據點(高雄):就近支援南部封測廠

所屬設備分類

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資料來源

  1. 愛德萬測試(Advantest)官方產品頁面:MASK MVM-SEM E3650