MPM193 系列是 Lasertec 的相位差・穿透率量測設備，為已成為業界標準機型的 ArF（193nm）用相位移量量測設備。
以與曝光機相同的波長直接量測相位移量，也能量測半色調型相位移光罩的穿透率。對地板振動與設備內部氣流擾動具有高穩定性。
燈源的 MPM193Ⅱ 量測重複性為相位差 0.5°・穿透率 0.2%（3σ），雷射光源的 MPM193EX 為相位差 0.2°・穿透率 0.04%（3σ）。
MPM193 系列的特點與規格
Lasertec・光罩尺寸・平坦度量測設備
業界標準機型的 ArF 用相位移量量測設備。以與曝光相同的 193nm 直接量測相位差與穿透率。
產品概要
主要規格
| 量測波長 | 193 nm（ArF） |
|---|---|
| 重複性（MPM193EX） | 相位差 0.2°・穿透率 0.04%（3σ） |
| 產品線 | MPM193Ⅱ（燈源）・MPM193EX（雷射光源） |
規格依廠商公開資料整理，實際規格與選配請以廠商資料為準。
主要特點
以與曝光相同的 193nm 直接量測
量測相位差與穿透率
高量測重複性
主要用途
- 相位移光罩的相位差・穿透率量測
製造商與在台據點
在台據點
- Lasertec Taiwan（新竹縣竹北市）：2010 年成立，負責銷售與技術支援