MPM248 是 Lasertec 的相位移量量測設備，為已成為業界標準機型的 KrF（248nm）用設備。
以與步進機曝光波長相同的波長直接量測相位移量，也能量測半色調型相位移光罩的穿透率。對地板振動與設備內部氣流擾動具有高穩定性。
適用 6025 尺寸的基板，量測重複性為相位差 0.5°、穿透率 0.2%（3σ）。
MPM248的特點與規格
Lasertec・光罩尺寸・平坦度量測設備
業界標準機型的 KrF 用相位移量量測設備。以 248nm 量測相位差與穿透率。
產品概要
主要規格
| 量測波長 | 248 nm（KrF） |
|---|---|
| 重複性 | 相位差 0.5°・穿透率 0.2%（3σ） |
| 基板 | 6025 |
規格依廠商公開資料整理，實際規格與選配請以廠商資料為準。
主要特點
以與曝光相同的 248nm 直接量測
量測相位差與穿透率
主要用途
- KrF 用相位移光罩的量測
製造商與在台據點
在台據點
- Lasertec Taiwan（新竹縣竹北市）：2010 年成立，負責銷售與技術支援