Aera 6 是應用材料（Applied Materials）的第 6 代光罩檢測設備。使用 193nm 的光，以 1 台設備結合空間影像（aerial image）檢測與高解析度影像檢測；前者以與曝光機（掃描機）轉印到晶圓時相同的成像方式檢查缺陷。
搭載新型微影等級鏡頭與 2 組 CCD，提升訊雜比（S/N）與產能。支援使用反向微影等強力光學鄰近效應修正（OPC）的光罩與 EUV 光罩的檢測，以及雙重／四重圖案化用光罩的高靈敏度檢測，並將誤檢控制在低水準。
可自動分類缺陷是否會轉印到晶圓上，並運用 AI 演算法。另支援霧化（haze）早期檢出、監控 193nm・EUV 曝光造成的劣化、以 2.5nm 解析度複檢邊緣缺陷，以及以 IntenCD 繪製光罩全面的 CD 均勻性分布圖，藉此延長光罩壽命並降低成本。