中電流離子佈植機是什麼

中電流離子佈植機是負責射束電流約數十 μA～數 mA 範圍的離子佈植設備。用於臨界電壓調整（Vt 調整）、井形成、Halo 佈植等劑量較低且要求高精度的製程。由於射束電流小，晶圓的帶電與發熱較緩和，特點是容易做出佈植角度的精度與面內均勻性。因直接關係電晶體的特性變異，是對劑量再現性與機台間差異管理要求嚴格的領域。

重點整理

處理數十 μA～數 mA 等級射束電流的佈植設備
用於 Vt 調整、井形成、Halo 佈植等低劑量精密製程
帶電與發熱較緩和，容易做出佈植角度精度與均勻性
劑量再現性與機台間差異直接關係電晶體特性變異

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