IMX-3500 是愛發科（ULVAC）的離子佈植機。最高能量 200kV，最大支援 Φ200mm 晶圓，適合大學等單位的研究開發。
離子源除了用於產生 B、P、As 等離子的氣體源外，也可使用操作安全且容易的固體蒸發源。HV 端子部採用與量產設備相同的構成，確保高可靠度。
最大晶圓尺寸為 Φ200mm，並搭載支援不規則形狀基板的載台。用於研究開發、少量生產與 MEMS。
IMX-3500的特點與規格
愛發科（ULVAC）・中電流離子佈植機
最高能量 200kV、最大支援 200mm 晶圓的研發用離子佈植機。
產品概要
主要規格
| 能量 | 30～200keV（選配 3～200keV） |
|---|---|
| 基板尺寸 | 最大 Φ150（亦支援 Φ200・不規則形狀基板） |
| 離子種類 | B・P・As・Si・Ge・Sb・In 等 |
規格依廠商公開資料整理，實際規格與選配請以廠商資料為準。
主要特點
最高 200keV
亦支援固體蒸發源
支援不規則形狀基板的載台
主要用途
- 研究開發・少量生產
- MEMS
製造商
愛發科（ULVAC）（總部：日本）