SOPHI 是愛發科（ULVAC）的中電流離子佈植機，在功率元件與 IGBT 領域市占第一。
可直接傳送並處理極薄晶圓，也能直接傳送翹曲基板並進行高精度的平邊（orientation flat）對位。以平行離子束進行高精度佈植，單價離子下 SOPHI-200 可加速到 200kV、SOPHI-260 可加速到 260kV。
易於保養且持有成本低，選配可進行從 5kV 起的低能量佈植。支援 Φ125・150・200mm 基板，用於功率元件等薄型基板製程、SiC 製程、VCSEL、SOI／LNOI 與 MEMS。