最後更新:2026年10月23日中電流離子佈植機

VIISta 900XP的特點與規格

應用材料(Applied Materials)・中電流離子佈植機

負責中電流領域的離子佈植機。擴展能量範圍,並分別運用離子價數,涵蓋到高能量側。

目錄5 項
  1. 產品概要
  2. 主要規格
  3. 主要特點
  4. 製造商與在台據點
  5. 資料來源

產品概要

VIISta 900XP 是應用材料的中電流離子佈植機。定位為兼具精度・潔淨度・生產力與量產適性的中電流機。

擴展了能量範圍,1價離子可在 300keV、2價離子可在 600keV 運轉。因此在次 MeV 的井區佈植中,可發揮比以往批次式高能量設備更高的生產力。佈植角度以 Varian Positioning System(VPS)在所有用途中加以控制。

以過濾磁鐵在離子源之後立即去除大部分異種離子,並以雙磁鐵配置將晶圓與分析磁鐵及質量分離孔徑產生的金屬・微粒汙染隔離。機械產能為 500WPH,單片平行傳送與短射束啟動時間支撐其生產力。

主要規格

類別中電流離子佈植機
能量範圍300 keV(+ 價)/600 keV(++ 價)
相關機型VIISta 900 3D
重視項目精度・潔淨度・生產力
主要用途井區形成・臨界電壓調整等精密佈植

規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。

主要特點

能量範圍擴展至1價 300keV/2價 600keV
以 Varian Positioning System(VPS)控制佈植角度
過濾磁鐵+雙磁鐵的潔淨射束線
機械產能 500WPH

主要用途

  • 井區形成・臨界電壓調整等精密佈植
  • 次 MeV 的井區佈植(取代批次式高能量機)

製造商與在台據點

在台據點
  • 新竹據點(新竹科學園區):1996 年進駐,技術研發中心
  • 台南據點(台南):製造中心與顯示器設備製造研發中心
  • 林口・台中據點(林口・台中):營運據點

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資料來源

  1. 應用材料(Applied Materials)官方產品頁面:Applied Materials VIISta 900XP