VIISta 900XP 是應用材料的中電流離子佈植機。定位為兼具精度・潔淨度・生產力與量產適性的中電流機。
擴展了能量範圍,1價離子可在 300keV、2價離子可在 600keV 運轉。因此在次 MeV 的井區佈植中,可發揮比以往批次式高能量設備更高的生產力。佈植角度以 Varian Positioning System(VPS)在所有用途中加以控制。
以過濾磁鐵在離子源之後立即去除大部分異種離子,並以雙磁鐵配置將晶圓與分析磁鐵及質量分離孔徑產生的金屬・微粒汙染隔離。機械產能為 500WPH,單片平行傳送與短射束啟動時間支撐其生產力。