DIS100 是迪思科(DISCO)的全自動晶片檢測設備。從切割後的晶圓拾取晶片,全自動進行厚度與崩邊量測、背面粗糙度量測,乃至抗折強度量測(破壞性檢測)。
透過全自動化,將人工量測抗折強度的變異降到最低,有效率地管理晶片品質。抗折強度以 3 點彎曲試驗量測,並觀察破裂的狀態。
選配功能可將量測側面・背面後的晶片移載至迪思科獨家托盤 UNITRAY 精巧保存,並以條碼將晶片資訊貼於托盤上,管理可追溯性。
從切割後的晶圓取出晶片,全自動量測厚度・崩邊・背面粗糙度・抗折強度的晶片檢測設備。
DIS100 是迪思科(DISCO)的全自動晶片檢測設備。從切割後的晶圓拾取晶片,全自動進行厚度與崩邊量測、背面粗糙度量測,乃至抗折強度量測(破壞性檢測)。
透過全自動化,將人工量測抗折強度的變異降到最低,有效率地管理晶片品質。抗折強度以 3 點彎曲試驗量測,並觀察破裂的狀態。
選配功能可將量測側面・背面後的晶片移載至迪思科獨家托盤 UNITRAY 精巧保存,並以條碼將晶片資訊貼於托盤上,管理可追溯性。
| 適用晶圓尺寸 | Φ200/300 mm |
|---|---|
| 適用晶片 | 2 mm 見方以上 |
| 量測 | 厚度・崩邊・背面粗糙度・3 點彎曲抗折強度 |
規格依廠商公開資料整理,實際規格與選配請以廠商資料為準。